|
|
|
|
|
00000nam0a22000001ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr10755530000 |
| 005 |
20061229154758.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20061229d1983 y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Термические процессы в электронно-лучевой технологии производства интегральных схем
$e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук
$e (05.12.18 ; 05.04.05)
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$d 1983
|
| 215 |
# |
# |
$a 46 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a В надзаг.: Моск. ин-т электронной техники. Библиогр.: с. 40-46 (45 назв.). Для служ. пользования
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.3.04977.002+621.791.72
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.12.18
$2 oksvnk
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.04.05
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$a Зуев
$b И. В.
$g Игорь Васильевич
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20061229
$g psbo
|
