Термические процессы в электронно-лучевой технологии производства интегральных схем: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук: (05.12.18 ; 05.04.05)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Зуев, И. В. |
| Опубликовано: | М. , 1983 |
| Физические характеристики: |
46 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||