Исследование и разработка методов ионоплазменного нанесения и травления диэлектрических покрытий для планарной технологии изготовления светоизлучающих диодов в цифро-знаковых индикаторов: Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук: (05.12.18)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Золотарев, Ю. М. |
| Опубликовано: | М. , 1978 |
| Физические характеристики: |
29 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||