Моделирование и управление процессами окисления кремния в производстве полупроводниковых приборов: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.13.07)
Zapisane w:
| Format: | |
|---|---|
| 1. autor: | Згуровская, Л. П. |
| Wydane: | Киев , 1983 |
| Opis fizyczny: |
16 с.
|
| Język: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Dostępne Zamów | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||