Моделирование и управление процессами окисления кремния в производстве полупроводниковых приборов: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.13.07)
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Згуровская, Л. П. |
| Апублікавана: | Киев , 1983 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
16 с.
|
| Мова: | Руская |
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||