|
|
|
|
|
00000nam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr10376200000 |
| 005 |
20061201171221.0 |
| 010 |
# |
# |
$d Б. ц.
|
| 021 |
# |
# |
$b [83-56030]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20061201d1982 y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Анализ ближнего порядка в пленках нитрида кремния методом РФР
|
| 210 |
# |
# |
$a Новосибирск
$d 1982
|
| 215 |
# |
# |
$a 16 с.
$c черт.
|
| 225 |
2 |
# |
$a Препринт
$f Ин-т физики полупроводников СО АН СССР
$v 3-82
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 15-16 (17 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 150 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Кремний, нитрид
|
| 610 |
0 |
# |
$a Пленки тонкие
|
| 675 |
# |
# |
$a 539.216.2
|
| 700 |
# |
1 |
$a Зайцев
$b Б. Н.
$g Борис Николаевич
|
| 701 |
# |
1 |
$a Эдельман
$b Ф. Л.
$g Феликс Леонидович
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20061201
$g psbo
|
