Анализ ближнего порядка в пленках нитрида кремния методом РФР
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Зайцев, Б. Н. |
| Опубликовано: | Новосибирск , 1982 |
| Физические характеристики: |
16 с. : черт.
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Препринт
3-82 |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||