Численное моделирование гидродинамических процессов при выращивании полупроводниковых структур методами газофазной и жидкофазной эпитаксии: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра физ.-мат. наук: (01.02.05) / Санкт-Петербург. гос. техн. ун-т
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Жмакин, А. И. |
| Опубликовано: | СПб. , 1992 |
| Физические характеристики: |
32 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr10180480000 | ||
| 005 | 20061120182624.0 | ||
| 021 | # | # | $b [92-4626а] |
| 100 | # | # | $a 20061120d1992 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Численное моделирование гидродинамических процессов при выращивании полупроводниковых структур методами газофазной и жидкофазной эпитаксии $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра физ.-мат. наук $e (01.02.05) $f Санкт-Петербург. гос. техн. ун-т |
| 210 | # | # | $a СПб. $d 1992 |
| 215 | # | # | $a 32 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 29-31 (31 назв.) |
| 686 | # | # | $a 01.02.05 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Жмакин $b А. И. $g Александр Игоревич |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20061120 $g psbo |