Численное моделирование гидродинамических процессов при выращивании полупроводниковых структур методами газофазной и жидкофазной эпитаксии: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра физ.-мат. наук: (01.02.05) / Санкт-Петербург. гос. техн. ун-т
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Жмакин, А. И. |
| Опубликовано: | СПб. , 1992 |
| Физические характеристики: |
32 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||