Синхротронное излучение в технологических процессах микроэлектроники: Учеб. пособие / С.Н.Мазуренко, В.В.Мануйлов, В.М.Матвеев

Сохранено в:
Шифр документа: 1Ок129554,
Вид документа: Книги
Опубликовано: М. : МГИЭТ , 1994
Физические характеристики: 75 с.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a22000004ib4500
001 BY-NLB-br96726
005 20210430155138.0
010 # # $a 5-7256-0029-7  $d Б.ц. 
020 # # $a ru  $b 94-33338 
100 # # $a 19980210d1994 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
105 # # $a a j 000yy 
109 # # $a ga 
200 1 # $a Синхротронное излучение в технологических процессах микроэлектроники  $e Учеб. пособие  $f С.Н.Мазуренко, В.В.Мануйлов, В.М.Матвеев  $g Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т) 
210 # # $a М.  $c МГИЭТ  $d 1994 
215 # # $a 75 с. 
300 # # $a Библиогр.: с. 73-74 (14 назв.). 
345 # # $9 200 экз. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar30200  $a СИНХРОТРОННОЕ ИЗЛУЧЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39082  $a ЭЛЕКТРОНЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39083  $a ЭЛЕКТРОНЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11906  $a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18371  $a МІКРАЭЛЕКТРОНІКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11907  $a ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18370  $a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
608 # # $3 BY-NLB-ar2286649  $a УЧЕБНОЕ ПОСОБИЕ ДЛЯ ВУЗОВ  $2 BYGNR 
675 # # $a 621.382.049.77.002:621.384.632(075.8)  $v 3  $z rus 
686 # # $a 47.01.33  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.33.31  $2 rugasnti 
701 # 1 $3 BY-SEK-290189  $a Мануйлов  $b В. В.  $g Вадим Викторович 
701 # 1 $3 BY-SEK-290190  $a Матвеев  $b В. М.  $g Вячеслав Михайлович 
702 # 1 $3 BY-SEK-290191  $a Мазуренко  $b С. Н.  $g Сергей Николаевич 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 19980210  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060314  $g psbo