Синхротронное излучение в технологических процессах микроэлектроники: Учеб. пособие / С.Н.Мазуренко, В.В.Мануйлов, В.М.Матвеев
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | М. : МГИЭТ , 1994 |
| Физические характеристики: |
75 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||