Повышение эффективности автоматизированного контроля процесса осаждения тонких пленок на основе емкостного метода: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.13.06 / Истомин Алексей Сергеевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Истомин, А. С. |
| Опубликовано: | Рыбинск , 2006 |
| Физические характеристики: |
16 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||