Технологические маршруты изготовления ИС: лабораторный практикум по курсам "Маршрутная технология интегральных схем" и "Технологические процессы микроэлектроники" для студентов специальностей І-41 01 02 "Микро- и наноэлектронные технологии и системы" и І-41 01 03 "Квантовые информационные системы" всех форм обучения / А.Г.Черных, С.В.Ригольд
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Черных, А. Г. (род. 1941) |
| Опубликовано: | Минск : БГУИР , 2006 |
| Физические характеристики: |
34 с. ; 20 см.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Доступно Заказать | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||