Физико-технические основы субмикрометровой дифрактометрии топологии поверхности, модифицируемой в ионно-плазменных процессах: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: 01.04.04 / Истомина Наталья Леонидовна

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад168569,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Истомина, Н. Л.
Опубликовано: Москва , 2006
Физические характеристики: 33 с.
Язык: Русский
Предмет:
ТВЕРДОТЕЛЬНАЯ ЭЛЕКТРОНИКА
ИОННО-ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
ИЗМЕРЕНИЕ
НЕРАЗРУШАЮЩИЙ КОНТРОЛЬ
ДИФРАКЦИОННЫЕ МЕТОДЫ
ДИФРАКТОМЕТРЫ
ЦВЕРДАЦЕЛЬНАЯ ЭЛЕКТРОНІКА
ІОННА-ПЛАЗМЕННЫЯ ТЭХНАЛОГІІ
ВЫМЯРЭННЕ
НЕРАЗБУРАЛЬНЫ КАНТРОЛЬ
ДЫФРАКЦЫЙНЫЯ МЕТАДЫ
ДЫФРАКТОМЕТРЫ
ГЕОМЕТРИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ
ГЕАМЕТРЫЧНЫЯ ПАРАМЕТРЫ
ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
МОДИФИЦИРОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТЕЙ
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br836481
005 20220412164614.0
100 # # $a 20060803d2006 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a 001yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Физико-технические основы субмикрометровой дифрактометрии топологии поверхности, модифицируемой в ионно-плазменных процессах  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук  $e 01.04.04  $f Истомина Наталья Леонидовна  $g "МАТИ" Российский государственный технологический университет им. К.Э.Циолковского 
210 # # $a Москва  $d 2006 
215 # # $a 33 с. 
300 # # $a Библиография: с. 30-33 (39 назв.). 
606 0 # $3 BY-NLB-ar32976  $a ТВЕРДОТЕЛЬНАЯ ЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12168  $a ИОННО-ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11333  $a ИЗМЕРЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar20472  $a НЕРАЗРУШАЮЩИЙ КОНТРОЛЬ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar62305  $a ДИФРАКЦИОННЫЕ МЕТОДЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar9499  $a ДИФРАКТОМЕТРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar32977  $a ЦВЕРДАЦЕЛЬНАЯ ЭЛЕКТРОНІКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12169  $a ІОННА-ПЛАЗМЕННЫЯ ТЭХНАЛОГІІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11334  $a ВЫМЯРЭННЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar20473  $a НЕРАЗБУРАЛЬНЫ КАНТРОЛЬ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar62306  $a ДЫФРАКЦЫЙНЫЯ МЕТАДЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar9500  $a ДЫФРАКТОМЕТРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2748278  $a ГЕОМЕТРИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2748279  $a ГЕАМЕТРЫЧНЫЯ ПАРАМЕТРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33870  $a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-SEK-ar1638614  $a МОДИФИЦИРОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТЕЙ  $2 DVNLB 
686 # # $a 47.13.33  $2 rugasnti 
686 # # $a 01.04.04  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-691939  $a Истомина  $b Н. Л.  $g Наталья Леонидовна 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060803  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20061210  $g psbo 

Схожие документы