Физико-технические основы субмикрометровой дифрактометрии топологии поверхности, модифицируемой в ионно-плазменных процессах: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: 01.04.04 / Истомина Наталья Леонидовна
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Истомина, Н. Л. |
| Опубликовано: | Москва , 2006 |
| Физические характеристики: |
33 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||