Разработка методов и средств повышения эффективности действия турбомолекулярных насосов в составе вакуумных систем оборудования электронной техники: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.06 / Леонов Леонид Борисович
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Леонов, Л. Б. |
| Апублікавана: | Москва , 2006 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
22 с.
|
| Мова: | Руская |
| Прадмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||