Разработка методов и средств повышения эффективности действия турбомолекулярных насосов в составе вакуумных систем оборудования электронной техники: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.06 / Леонов Леонид Борисович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Леонов, Л. Б. |
| Опубликовано: | Москва , 2006 |
| Физические характеристики: |
22 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||