Разработка методов и средств повышения эффективности действия турбомолекулярных насосов в составе вакуумных систем оборудования электронной техники: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.06 / Леонов Леонид Борисович

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад167781,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Леонов, Л. Б.
Опубликовано: Москва , 2006
Физические характеристики: 22 с.
Язык: Русский
Предмет:
ЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА
ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ
ВАКУУМНЫЕ СИСТЕМЫ
ЭЛЕКТРОННАЯ ТЭХНІКА
ТЭХНАЛАГІЧНАЕ АБСТАЛЯВАННЕ
ВАКУУМНЫЯ СІСТЭМЫ
ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЕ НАСОСЫ
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br833794
005 20120828150205.0
100 # # $a 20060720d2006 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a ru 
105 # # $a a 001yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Разработка методов и средств повышения эффективности действия турбомолекулярных насосов в составе вакуумных систем оборудования электронной техники  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e 05.27.06  $f Леонов Леонид Борисович  $g [ФГУП "НИИВТ" им. С.А.Векшинского] 
210 # # $a Москва  $d 2006 
215 # # $a 22 с. 
300 # # $a Библиография: с. 21-22 (23 назв.). 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39076  $a ЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33890  $a ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar53395  $a ВАКУУМНЫЕ СИСТЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39077  $a ЭЛЕКТРОННАЯ ТЭХНІКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33891  $a ТЭХНАЛАГІЧНАЕ АБСТАЛЯВАННЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar53396  $a ВАКУУМНЫЯ СІСТЭМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar4548266  $a ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЕ НАСОСЫ  $2 DVNLB 
686 # # $a 47.13  $2 rugasnti 
686 # # $a 81.29.31  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.27.06  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-684181  $a Леонов  $b Л. Б.  $g Леонид Борисович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060720  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20061110  $g psbo 

Схожие документы