Конструктивно-технологические особенности изготовления микроэлектромеханических устройств торсионного типа: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.06 / Бойко Антон Николаевич
Gespeichert in:
| Format: | |
|---|---|
| 1. Verfasser: | Бойко, А. Н. |
| Veröffentlicht: | Москва , 2006 |
| Beschreibung: |
23 с.
|
| Sprache: | Русский |
| Schlagworte: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Verfügbar Bestellen | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||