Simulation of impurity diffusion near the polysilicon-silicon interface / [Auth.]:O.I.Velichko,F.F.Komarov,N.M.Lukanov,A.N.Muchinskii,V.A.Tsurko
Сохранено в:
| 格式: | |
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| 出版: | Minsk , 1997 |
| 實物描述: |
11 p.
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| 語言: | Английский |
| 叢編: |
Prepr.
N.7(530) |
| 主題: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | 可用 預訂 | |||||||||||||||
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