Simulation of impurity diffusion near the polysilicon-silicon interface / [Auth.]:O.I.Velichko,F.F.Komarov,N.M.Lukanov,A.N.Muchinskii,V.A.Tsurko
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | Minsk , 1997 |
| Физические характеристики: |
11 p.
|
| Язык: | Английский |
| Серия: |
Prepr.
N.7(530) |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Доступно Заказать | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||