Simulation of impurity diffusion near the polysilicon-silicon interface / [Auth.]:O.I.Velichko,F.F.Komarov,N.M.Lukanov,A.N.Muchinskii,V.A.Tsurko
Zapisane w:
| Format: | |
|---|---|
| Wydane: | Minsk , 1997 |
| Opis fizyczny: |
11 p.
|
| Język: | Английский |
| Seria: |
Prepr.
N.7(530) |
| Hasła przedmiotowe: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Dostępne Zamów | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||