Simulation of impurity diffusion near the polysilicon-silicon interface / [Auth.]:O.I.Velichko,F.F.Komarov,N.M.Lukanov,A.N.Muchinskii,V.A.Tsurko
Enregistré dans:
| Format: | |
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| Publié: | Minsk , 1997 |
| Description matérielle: |
11 p.
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| Langue: | Английский |
| Collection: |
Prepr.
N.7(530) |
| Sujets: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Disponible Réserver | |||||||||||||||
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