Simulation of impurity diffusion near the polysilicon-silicon interface / [Auth.]:O.I.Velichko,F.F.Komarov,N.M.Lukanov,A.N.Muchinskii,V.A.Tsurko
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Апублікавана: | Minsk , 1997 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
11 p.
|
| Мова: | Англійская |
| Серыя: |
Prepr.
N.7(530) |
| Прадмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 2 , даступна: 2 | Даступна Замовіць | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||