Simulation of impurity diffusion near the polysilicon-silicon interface / [Auth.]:O.I.Velichko,F.F.Komarov,N.M.Lukanov,A.N.Muchinskii,V.A.Tsurko

Сохранено в:
Шифр документа: 1Ба108581К, 1Ба108582К,
Вид документа: Книги
Опубликовано: Minsk , 1997
Физические характеристики: 11 p.
Язык: Английский
Серия: Prepr. N.7(530)
Предмет:
00000cam0a22000004ib4500
001 BY-NLB-br81801
005 20130429122759.1
010 # # $d 6000 r. 
100 # # $a 19970602d1997 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a eng 
102 # # $a by 
105 # # $a y 000yy 
109 # # $a aa 
200 1 # $a Simulation of impurity diffusion near the polysilicon-silicon interface  $f [Auth.]:O.I.Velichko,F.F.Komarov,N.M.Lukanov,A.N.Muchinskii,V.A.Tsurko 
210 # # $a Minsk  $d 1997 
215 # # $a 11 p. 
225 1 # $a Prepr.  $f Inst.of Mathematics.BAS  $v N.7(530) 
300 # # $a Ref.:p.8-9 
345 # # $9 49 экз. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar35849  $a ФИЗИКА ТВЕРДОГО ТЕЛА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar9565  $a ДИФФУЗИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23222  $a ПЕРЕНОСА ЯВЛЕНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2128563  $a СЕГРЕГАЦИЯ (металлург.)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15096  $a КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2145  $a АЛГОРИТМЫ (мат., информатика)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar13146  $a КВАЗИЛИНЕЙНЫЕ УРАВНЕНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar9566  $a ДЫФУЗІЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar25539  $a ПРЫМЕСІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23223  $a ПЕРАНОСУ З'ЯВЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2128568  $a СЕГРЭГАЦЫЯ (металург.)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15097  $a КРЭМНІЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18659  $a МАДЭЛЯВАННЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2146  $a АЛГАРЫТМЫ (мат., інфарматыка)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar25538  $a ПРИМЕСИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18658  $a МОДЕЛИРОВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar13147  $a КВАЗІЛІНЕЙНЫЯ ЎРАЎНЕННІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3171698  $a ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3171700  $a ПОЛІКРЫШТАЛІЧНЫ КРЭМНІЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3324242  $a ЧИСЛЕННЫЕ РАСЧЕТЫ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 539.219.3  $v 3  $z rus 
675 # # $a 519.673  $v 3  $z rus 
686 # # $a 29.19.17  $2 rugasnti 
686 # # $a 27.35.45  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.03.77  $2 rugasnti 
702 # 1 $3 BY-SEK-608244  $a Velichko  $b O. I. 
702 # 1 $3 BY-SEK-186602  $a Комаров  $b Ф. Ф.  $g Фадей Фадеевич  $c доктор физико-математических наук  $f род. 1945 
702 # 1 $3 BY-SEK-608246  $a Lukanov  $b N. M. 
702 # 1 $3 BY-SEK-608247  $a Muchinskii  $b A. a.  $g A.N. auth.Tsurko V.A 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 19970602  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060315  $g psbo