Пленки поликристаллического кремния в технологии производства интегральных схем и полупроводниковых приборов / А.С.Турцевич, Л.П.Ануфриев
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Турцевич, А. С. (род. 1958) |
| Published: | Минск : Белорусская наука , 2006 |
| Physical Description: |
231, [1] с. ; 21 см.
|
| Language: | Russian |
| Subjects: |
ОФХ отдела книгохранения
| All : 2 , available: 2 | Available Place a Hold | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||