Пленки поликристаллического кремния в технологии производства интегральных схем и полупроводниковых приборов / А.С.Турцевич, Л.П.Ануфриев
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Турцевич, А. С. (род. 1958) |
| Опубликовано: | Минск : Белорусская наука , 2006 |
| Физические характеристики: |
231, [1] с. ; 21 см.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Доступно Заказать | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||