Пленки поликристаллического кремния в технологии производства интегральных схем и полупроводниковых приборов / А.С.Турцевич, Л.П.Ануфриев
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Турцевич, А. С. (род. 1958) |
| Апублікавана: | Минск : Белорусская наука , 2006 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
231, [1] с. ; 21 см.
|
| Мова: | Руская |
| Прадмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 2 , даступна: 2 | Даступна Замовіць | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||