Пленки поликристаллического кремния в технологии производства интегральных схем и полупроводниковых приборов / А.С.Турцевич, Л.П.Ануфриев

Сохранено в:
Шифр документа: 1БА471777, 1Ба471778,
Вид документа: Книги
Автор: Турцевич, А. С. (род. 1958)
Опубликовано: Минск : Белорусская наука , 2006
Физические характеристики: 231, [1] с. ; 21 см.
Язык: Русский
Предмет:
ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ
ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
ОСАЖДЕНИЕ
ХИМИЧЕСКИЕ РЕАКЦИИ
ПОЛИКРИСТАЛЛЫ
КРЕМНИЕВЫЕ СТРУКТУРЫ
КРЕМНИЕВЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
ПАЎПРАВАДНІКОВЫЯ ПРЫБОРЫ
ТОНКІЯ ПЛЁНКІ
АСАДЖЭННЕ
ХІМІЧНЫЯ РЭАКЦЫІ
КРЭМНІЕВЫЯ СТРУКТУРЫ
КРЭМНІЕВЫЯ ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
ПОЛІКРЫШТАЛІ
ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
00000cam0a22000004ib4500
001 BY-NLB-br817923
005 20220412160208.0
010 # # $a 985-08-0687-7  $b в переплете 
100 # # $a 20060426d2006 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a by 
105 # # $a a 000yy 
109 # # $a aa 
200 1 # $a Пленки поликристаллического кремния в технологии производства интегральных схем и полупроводниковых приборов  $f А.С.Турцевич, Л.П.Ануфриев 
210 # # $a Минск  $c Белорусская наука  $d 2006 
215 # # $a 231, [1] с.  $d 21 см. 
300 # # $a Библиография: с. 216-229 (229 назв.) 
300 # # $a 300 экз. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11906  $a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24592  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34161  $a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar22114  $a ОСАЖДЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar36791  $a ХИМИЧЕСКИЕ РЕАКЦИИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24345  $a ПОЛИКРИСТАЛЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15092  $a КРЕМНИЕВЫЕ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2246902  $a КРЕМНИЕВЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24593  $a ПАЎПРАВАДНІКОВЫЯ ПРЫБОРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34162  $a ТОНКІЯ ПЛЁНКІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar22115  $a АСАДЖЭННЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar36792  $a ХІМІЧНЫЯ РЭАКЦЫІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15093  $a КРЭМНІЕВЫЯ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2246906  $a КРЭМНІЕВЫЯ ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11907  $a ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24346  $a ПОЛІКРЫШТАЛІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33870  $a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.382.049.772.1-027.3  $v 3  $z rus 
675 # # $a 539.232  $v 3  $z rus 
686 # # $a 47.13.11  $2 rugasnti 
686 # # $a 49.09.29  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.16  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-NLB-ar2502584  $a Турцевич  $b А. С.  $g Аркадий Степанович  $c доктор технических наук  $f род. 1958 
701 # 1 $3 BY-NLB-ar2495368  $a Ануфриев  $b Л. П.  $g Леонид Петрович  $c доктор технических наук  $f род. 1945 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060426  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060904  $g psbo 

Схожие документы