Исследование и разработка конструктивно-технологических решений создания транзисторного модуля для изготовления КМОП схем с проектными нормами 0,35 мкм на кластерном технологическом оборудовании: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.01 / Цимбалов Андрей Сергеевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Цимбалов, А. С. |
| Опубликовано: | Москва , 2006 |
| Физические характеристики: |
26 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||