Разработка реактора эпитаксиального наращивания одиночных подложек и исследовнаие в нем теплофизических и физико-механических процессов: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.06 / Миркурбанов Халит Абдулгазизович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Миркурбанов, Х. А. |
| Опубликовано: | Москва , 2005 |
| Физические характеристики: |
27 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||