|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br804218 |
| 005 |
20200910094916.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20060306d2005 u y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a ru
|
| 105 |
# |
# |
$a a 001yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
$a ac
|
| 200 |
1 |
# |
$a Исследование процессов радиационного дефектообразования и радиационного легирования в слоях n- и ρ-типов карбида кремния, выращенных методом сублимационной эпитаксии
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
$e 01.04.07
$f Румянцев Дмитрий Сергеевич
$g [Санкт-Петербургский государственный политехнический университет]
|
| 210 |
# |
# |
$a Санкт-Петербург
$d 2005
|
| 215 |
# |
# |
$a 19 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиография: с. 18-19.
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar12158
$a ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar39622
$a ЭПИТАКСИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar26877
$a РАДИАЦИОННЫЕ ЭФФЕКТЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar35935
$a ФИЗИЧЕСКИЕ ИССЛЕДОВАНИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24594
$a ПОЛУПРОВОДНИКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15827
$a ЛЕГИРОВАНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15092
$a КРЕМНИЕВЫЕ СТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar35931
$a ФИЗИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar83953
$a КОНДЕНСИРОВАННОЕ СОСТОЯНИЕ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.03
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.11
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.31
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 01.04.07
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-669074
$a Румянцев
$b Д. С.
$g Дмитрий Сергеевич
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060306
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060901
$g psbo
|
