Исследование процессов радиационного дефектообразования и радиационного легирования в слоях n- и ρ-типов карбида кремния, выращенных методом сублимационной эпитаксии: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: 01.04.07 / Румянцев Дмитрий Сергеевич
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Румянцев, Д. С. |
Опубликовано: | Санкт-Петербург , 2005 |
Физические характеристики: |
19 с.
|
Язык: | Русский |
Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|