Физико-химические основы плазмохимической технологии синтеза пленок карбонитрида кремния из силильных производных несимметричного диметилгидразина: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 02.00.04 / Борисов Виктор Одиссеевич
Сохранено в:
| 格式: | |
|---|---|
| 主要作者: | Борисов, В. О. |
| 出版: | Красноярск , 2005 |
| 實物描述: |
19 с.
|
| 語言: | Русский |
| 主題: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | 可用 預訂 | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||