Физико-химические основы плазмохимической технологии синтеза пленок карбонитрида кремния из силильных производных несимметричного диметилгидразина: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 02.00.04 / Борисов Виктор Одиссеевич
Zapisane w:
| Format: | |
|---|---|
| 1. autor: | Борисов, В. О. |
| Wydane: | Красноярск , 2005 |
| Opis fizyczny: |
19 с.
|
| Język: | Русский |
| Hasła przedmiotowe: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Dostępne Zamów | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||