Физико-химические основы плазмохимической технологии синтеза пленок карбонитрида кремния из силильных производных несимметричного диметилгидразина: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 02.00.04 / Борисов Виктор Одиссеевич
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Борисов, В. О. |
| Апублікавана: | Красноярск , 2005 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
19 с.
|
| Мова: | Руская |
| Прадмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||