|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br797335 |
| 005 |
20070615165901.6 |
| 100 |
# |
# |
$a 20060203d2005 u y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 001yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
$a ac
|
| 200 |
1 |
# |
$a Физико-химические основы плазмохимической технологии синтеза пленок карбонитрида кремния из силильных производных несимметричного диметилгидразина
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e 02.00.04
$f Борисов Виктор Одиссеевич
$g [Институт неорганической химии им. А.В.Николаева Сибирского отделения Российской академии наук, Томский государственный университет]
|
| 210 |
# |
# |
$a Красноярск
$d 2005
|
| 215 |
# |
# |
$a 19 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиография: с. 17-19 (15 назв.).
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar23669
$a ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34161
$a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-br2200063
$a КРЕМНИЙОРГАНИЧЕСКИЕ СОЕДИНЕНИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar20766
$a НИЗКОТЕМПЕРАТУРНЫЙ СИНТЕЗ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar83769
$a ГАЗОФАЗНОЕ ОСАЖДЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar23670
$a ПЛАЗМАХІМІЧНЫЯ МЕТАДЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34162
$a ТОНКІЯ ПЛЁНКІ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-br2200064
$a КРЭМНІЙАРГАНІЧНЫЯ ЗЛУЧЭННІ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar20767
$a НІЗКАТЭМПЕРАТУРНЫ СІНТЭЗ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar83770
$a ГАЗАФАЗНАЕ АСАДЖЭННЕ
$2 DVNLB
|
| 610 |
0 |
# |
$a КРЕМНИЯ КАРБОНИТРИД
|
| 610 |
0 |
# |
$a КРЭМНІЮ КАРБАНІТРЫД
|
| 686 |
# |
# |
$a 31.15.30
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.16
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 02.00.04
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-382558
$a Борисов
$b В. О.
$g Виктор Одиссеевич
$c кандидат технических наук
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060203
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070103
$g psbo
|
