Электофизические свойства нетрадиционных диэлектрических слоев (ионно синтезированный SiO2 и HfO2, ZrO2, Al2O3) на поверхности кремния: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: 01.04.10 / Дмитриев Валентин Александрович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Дмитриев, В. А. |
| Опубликовано: | Санкт-Петербург , 2005 |
| Физические характеристики: |
16 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||