Проблемы проектирования интегральных тензопреобразователей давления на основе слоев поликристаллического кремния: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: 05.27.01 / Любимский Владимир Михайлович

Сохранено в:
Шифр документа: 2АД148758,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Любимский, В. М.
Опубликовано: Новосибирск , 2005
Физические характеристики: 37 с.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br786987
005 20070615183722.7
100 # # $a 20051224d2005 u y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a ru 
105 # # $a a m 001yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Проблемы проектирования интегральных тензопреобразователей давления на основе слоев поликристаллического кремния  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук  $e 05.27.01  $f Любимский Владимир Михайлович  $g [Новосибирский государственный технический университет] 
210 # # $a Новосибирск  $d 2005 
215 # # $a 37 с. 
300 # # $a Библиография: с. 31-37. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33306  $a ТЕНЗОРЕЗИСТОРНЫЕ ДАТЧИКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2290523  $a ДАТЧИКИ ДАВЛЕНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar52080  $a КРЕМНИЕВЫЕ ДАТЧИКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar25811  $a ПРОЕКТИРОВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33307  $a ТЭНЗАРЭЗІСТАРНЫЯ ДАТЧЫКІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2290526  $a ДАТЧЫКІ ЦІСКУ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar52081  $a КРЭМНІЕВЫЯ ДАТЧЫКІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar25812  $a ПРАЕКТАВАННЕ  $2 DVNLB 
686 # # $a 50.09.37  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.33.31  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.27.01  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-661868  $a Любимский  $b В. М.  $g Владимир Михайлович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20051224  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060901  $g psbo