Проблемы проектирования интегральных тензопреобразователей давления на основе слоев поликристаллического кремния: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: 05.27.01 / Любимский Владимир Михайлович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Любимский, В. М. |
| Опубликовано: | Новосибирск , 2005 |
| Физические характеристики: |
37 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||