Автоматическая стабилизация параметров распределения мощности электронного пучка с целью обеспечения качества покрытий, наносимых методом электроннолучевого испарения: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.13.06 / Швалев Николай Александрович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Швалев, Н. А. |
| Опубликовано: | Рыбинск , 2005 |
| Физические характеристики: |
16 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||