|
|
|
|
|
00000cam0a22000004id4500 |
| 001 |
BY-NLB-br785101 |
| 005 |
20230525115753.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20051219d2005 u y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a by
|
| 105 |
# |
# |
$a a 000yy
|
| 106 |
# |
# |
$a h
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
$a ab
|
| 200 |
1 |
# |
$a Формирование субмикронных кмоп структур с повышенной точностью критических размеров методом проекционной фотолитографии
$e диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e защищена 17.03.05
$e утверждена 18.05.05
$e 05.27.01
$f Коробко Юлия Олеговна
|
| 210 |
# |
# |
$a Минск
$d 2005
|
| 215 |
# |
# |
$a 134 л.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиография: л. 116-123 (117 назв.).
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18374
$a МИКРОЭЛЕКТРОННАЯ ПРОМЫШЛЕННОСТЬ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar85256
$a ФОТОЛИТОГРАФИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11907
$a ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar85257
$a ФОТАЛІТАГРАФІЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11906
$a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18375
$a МІКРАЭЛЕКТРОННАЯ ПРАМЫСЛОВАСЦЬ
$2 DVNLB
|
| 610 |
0 |
# |
$a КМОП-ИС
|
| 610 |
0 |
# |
$a КМОП-ІС
|
| 615 |
# |
# |
$a Белорусский национальный документ
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77-027.3:776(043.3)
$v 3
$z rus
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.33.31
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.09.29
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.01
$2 nsnrrb
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-378834
$a Коробко
$b Ю. О.
$g Юлия Олеговна
$c кандидат технических наук, электроника
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20051219
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060901
$g psbo
|
| 856 |
4 |
9 |
$u http://content.nlb.by/content/dav/nlb/DDC/DD/26ad6619.pdf
|
