Формирование субмикронных кмоп структур с повышенной точностью критических размеров методом проекционной фотолитографии: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук: защищена 17.03.05: утверждена 18.05.05: 05.27.01 / Коробко Юлия Олеговна
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Коробко, Ю. О. |
| Published: | Минск , 2005 |
| Physical Description: |
134 л.
|
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| E-document: |
E-document
|
ОФХ диссертаций
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||