Формирование субмикронных кмоп структур с повышенной точностью критических размеров методом проекционной фотолитографии: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук: защищена 17.03.05: утверждена 18.05.05: 05.27.01 / Коробко Юлия Олеговна

Saved in:
Шифр документа: 26АД6619,
Format: Theses
Main Author: Коробко, Ю. О.
Published: Минск , 2005
Physical Description: 134 л.
Language: Russian
Subjects:
E-document: E-document

ОФХ диссертаций

All : 1 , available: 1 Available  Place a Hold

Information about the copies

Shifr Fond Holding place Copy status Reading room
26АД6619 ОФХ диссертаций (042) 11:4:1:17 AVAILABLE Зал диссертаций