Формирование субмикронных кмоп структур с повышенной точностью критических размеров методом проекционной фотолитографии: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук: защищена 17.03.05: утверждена 18.05.05: 05.27.01 / Коробко Юлия Олеговна
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Коробко, Ю. О. |
| Опубликовано: | Минск , 2005 |
| Физические характеристики: |
134 л.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|
ОФХ диссертаций
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||