Локальное ионное легирование в производстве интегральных схем с использованием полимерных масок: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук: защищена 21.01.05: утверждена 25.05.05: 01.04.07 ; 05.27.01 / Гранько Сергей Владимирович
Сохранено в:
| 格式: | |
|---|---|
| 主要作者: | Гранько, С. В. (род. 1973) |
| 出版: | Минск , 2004 |
| 實物描述: |
188, [4] л.
|
| 語言: | Русский |
| 主題: | |
| 在線閱讀: |
E-документ
|
ОФХ диссертаций
| Всего : 1 , доступно: 1 | 可用 預訂 | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||