Локальное ионное легирование в производстве интегральных схем с использованием полимерных масок: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук: защищена 21.01.05: утверждена 25.05.05: 01.04.07 ; 05.27.01 / Гранько Сергей Владимирович

Сохранено в:
Шифр документа: 26АД6311,
Вид документа: Диссертации
Автор: Гранько, С. В. (род. 1973)
Опубликовано: Минск , 2004
Физические характеристики: 188, [4] л.
Язык: Русский
Предмет:
Е-документ: E-документ

ОФХ диссертаций

Всего : 1 , доступно: 1 Доступно  Заказать

Информация об экземплярах

Шифр Фонд Место нахождения Статус экземпляра Читальный зал
26АД6311 ОФХ диссертаций (042) 11:4:1:16 СВОБОДЕН Зал диссертаций