Локальное ионное легирование в производстве интегральных схем с использованием полимерных масок: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук: защищена 21.01.05: утверждена 25.05.05: 01.04.07 ; 05.27.01 / Гранько Сергей Владимирович
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Гранько, С. В. (род. 1973) |
Опубликовано: | Минск , 2004 |
Физические характеристики: |
188, [4] л.
|
Язык: | Русский |
Предмет: | |
Е-документ: |
E-документ
|
ОФХ диссертаций
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|