Локальное ионное легирование в производстве интегральных схем с использованием полимерных масок: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук: защищена 21.01.05: утверждена 25.05.05: 01.04.07 ; 05.27.01 / Гранько Сергей Владимирович
Guardado en:
| Formato: | |
|---|---|
| Autor principal: | Гранько, С. В. (род. 1973) |
| Publicado: | Минск , 2004 |
| Descripción Física: |
188, [4] л.
|
| Lenguaje: | Русский |
| Materias: | |
| Acceso en línea: |
E-документ
|
ОФХ диссертаций
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Hacer reserva | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||