Локальное ионное легирование в производстве интегральных схем с использованием полимерных масок: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук: защищена 21.01.05: утверждена 25.05.05: 01.04.07 ; 05.27.01 / Гранько Сергей Владимирович
Gespeichert in:
| Format: | |
|---|---|
| 1. Verfasser: | Гранько, С. В. (род. 1973) |
| Veröffentlicht: | Минск , 2004 |
| Beschreibung: |
188, [4] л.
|
| Sprache: | Русский |
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: |
E-документ
|
ОФХ диссертаций
| Всего : 1 , доступно: 1 | Verfügbar Bestellen | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||