|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br761793 |
| 005 |
20070615183523.2 |
| 100 |
# |
# |
$a 20051007d2004 u y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a ru
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 001yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
$a ac
|
| 200 |
1 |
# |
$a Исследование закономерностей формирования и модификации волнообразного нанорельефа на кремнии и в тонких пленках на основе кристаллического и аморфного кремния
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
$e 05.27.01
$f Журавлев Иван Васильевич
$g [Институт микроэлектроники и информатики Российской академии наук]
|
| 210 |
# |
# |
$a п. Черноголовка
$d 2004
|
| 215 |
# |
# |
$a 21 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиография: с. 19-21 (13 назв.).
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar45117
$a НАНОЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15096
$a КРЕМНИЙ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34161
$a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15218
$a КРИСТАЛЛИЧЕСКИЕ РЕШЕТКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2318
$a АМОРФНОЕ СОСТОЯНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18307
$a МІКРАСТРУКТУРЫ (фіз.)
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar45118
$a НАНАЭЛЕКТРОНІКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24589
$a ПАЎПРАВАДНІКОВЫЯ МАТЭРЫЯЛЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15097
$a КРЭМНІЙ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34162
$a ТОНКІЯ ПЛЁНКІ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24588
$a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15219
$a КРЫШТАЛІЧНЫЯ РАШОТКІ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2319
$a АМОРФНЫ СТАН
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18306
$a МИКРОСТРУКТУРЫ (физ.)
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.16
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.09.29
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.22
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.01
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-655402
$a Журавлев
$b И. В.
$g Иван Васильевич
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20051007
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060901
$g psbo
|
