Исследование закономерностей формирования и модификации волнообразного нанорельефа на кремнии и в тонких пленках на основе кристаллического и аморфного кремния: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: 05.27.01 / Журавлев Иван Васильевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Журавлев, И. В. |
| Опубликовано: | п. Черноголовка , 2004 |
| Физические характеристики: |
21 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||