Особенности ионно-плазменного травления арсенида галлия и фосфида индия применительно к элементам твердотельной электроники: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.01 / Кушхов Аскер Русланович

Сохранено в:
Шифр документа: 2АД141180,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Кушхов, А. Р.
Опубликовано: Нальчик , 2004
Физические характеристики: 18 с.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br761504
005 20070615183530.0
100 # # $a 20051007d2004 u y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a ru 
105 # # $a a m 001yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Особенности ионно-плазменного травления арсенида галлия и фосфида индия применительно к элементам твердотельной электроники  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e 05.27.01  $f Кушхов Аскер Русланович  $g [Московский государственный институт стали и сплавов, Кабардино-Балкарский государственный университет им. Х.М.Бербекова] 
210 # # $a Нальчик  $d 2004 
215 # # $a 18 с. 
300 # # $a Библиография: с. 17-18 (6 назв.). 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39074  $a ЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar52876  $a ТВЕРДОТЕЛЬНЫЕ ПРИБОРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12168  $a ИОННО-ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34342  $a ТРАВЛЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar6882  $a АРСЕНИД ГАЛЛИЯ   $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2188207  $a ФОСФИДЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11674  $a ИНДИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39075  $a ЭЛЕКТРОНІКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar52877  $a ЦВЕРДАЦЕЛЬНЫЯ ПРЫБОРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12169  $a ІОННА-ПЛАЗМЕННЫЯ ТЭХНАЛОГІІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34343  $a ТРАЎЛЕННЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar6883  $a АРСЕНІД ГАЛІЮ   $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2188208  $a ФАСФІДЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11675  $a ІНДЫЙ  $2 DVNLB 
607 # # $3 BY-NLB-ar28572  $a Россия 
607 # # $3 BY-NLB-ar28573  $a Расія 
686 # # $a 47.33  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.09.37  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.27.01  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-655743  $a Кушхов  $b А. Р.  $g Аскер Русланович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20051007  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060901  $g psbo